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三星一方面在努力向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为EUV产业链输血。

报道,三星电子周二斥资430亿韩元(约合2.5亿)买入152万股韩国FST公司的股票,成为其第三大股东,持股占比6.9%。

FST是一家生产掩模/光罩保护膜和冷却器的厂商,保护膜简朴来说就是保障光罩不受灰尘影响,冷却器则是控制半导体制造过程中的温度。

FST正在研制EUV光罩保护膜,设计目的是全尺寸,碳化硅基质,30nm尺度,透光率90%。

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现在,尚未有一家公司大规模量产EUV光罩保护膜FST乐成后,将对产业以及自身收入有着努力影响。

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#三星#光刻机#极紫外光刻

(责任编辑:李显杰 )
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